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石英坩埚生产工艺技术及应用

坩埚生产加工制备工艺技术坩埚及其制造方法(资料说明)本发明公开了一种用于制备基本上没有晶体空隙缺陷的单晶硅的石英坩埚。该坩埚是通过在含有低于约0.5%不溶气体如氩气的气氛中,将石英粉导。

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