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碳化硅晶体生长设备的研制-收费硕士博士论文-论文天下本课题依据SiC晶体生长工艺的要求，在多年研究工作的基础上研制能满足SiC半导体晶体生长需要的工艺设备.在设计过程中，通过对机械、真空密封、电器控制等关键部分的优化。

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